系所介紹
實驗室定位:
研究所教學
無塵黃光室【電學814】
本系為國內極少數擁有無塵黃光室設備空間之大學系所。該實驗室獲得本系歷任系主任的大力支持,投入許多經費進行設備添購與建置。本系半導體組教師亦投入許多心力,努力維持無塵黃光室的順利營運。無塵黃光室對於半導體研究非常重要,也因此本系半導體組得以在國內半導體領域佔有一席之地,豐碩之研究成果足以跟國內頂尖大學院校競爭。
主要設備
熱蒸鍍機、高溫爐管、Helicon 磁控迴旋濺鍍系統、曝光機、光阻塗佈機、RTA 快速熱回火、Wet Bench、無塵室空間
支援課程
半導體製程與實習、薄膜技術、固態感測器應用